东京电子 (TEL?；总部：东京都港区；总裁：川井俊树)、富士金株式会社 (Fujikin；总部：大阪市北区；总裁：田中久) 和 TMEIC 公司 (TMEIC；总部：东京都中央区；总裁：川口彰) 宣布开发了*种用于控制半导体薄膜沉积过程中臭氧浓度的创新监测器。新监测器还将接受全面测试，以便在臭氧气体发生器上使用（安装）。
背景
在半导体制造过程中，臭氧用于薄膜形成工艺，以产生各种氧化膜。这需要密切关注臭氧气体发生器的状况和性能，这需要可靠的臭氧浓度监测器。测量臭氧浓度的既定技术之*是紫外线 (UV) 吸收法，该方法利用臭氧对紫外线波长的强烈吸收。这种方法的缺点是传统上使用汞灯作为光源，汞灯含有危险材料，需要定期更换*1。
为了解决这个问题，TEL、Fujikin 和 TMEIC 选择共同制造无汞且免维护的臭氧浓度监测器和臭氧气体发生器。
新型臭氧浓度监测仪的特点和优点：
1.新开发的显示器采用LED UV光源，提供与传统显示器相当甚至超越其的高可靠性。
2.该监测仪不使用汞，因此不含对环境有害的物质。
3.以前的显示器每两年就需要更换*次汞灯，而新显示器采用耐用的 LED 光源，可使用 10 年或更长时间而无需更换，从而实现光源免维护。
4.使用 LED 可将显示器的功耗从 25 W 降低至 3 W（比现有显示器低 88%）。这相当于每台显示器每年减少 77.1 千克二氧化碳排放量（77.1 千克-CO2e*2）
环境价值：减少二氧化碳排放量和运行成本
新开发的臭氧浓度监测器不仅用于半导体生产设备，还用于臭氧气体发生器。预计未来五年内臭氧气体发生器的需求将翻*番。据估计，通过使用这种新型监测器替代传统监测器，二氧化碳当量排放量可减少 310 吨二氧化碳当量，灯泡更换成本可减少约 1 亿日元。
三家公司共同创造环保技术
在这*环境技术共创计划中，富士金与TEL共同开发了臭氧浓度监测仪，TMEIC将该监测仪安装在其臭氧气体发生器上以测试和验证其性能，确保该监测仪适用于包括TEL的半导体生产设备和辅助设施在内的各种应用。TMEIC
将继续积*推动减少环境负荷的措施，以实现可持续发展和弹性社会。
*1 《水俣公约》规定，用于*般照明的高压汞灯受到管制。臭氧浓度监测仪中使用的紫外线灯由于有其他特定用途，因此不受管制。
*2 CO2e：二氧化碳当量